【产品中心】突破极限,euv光刻机引领下一代芯片制造
突破极限,EUV光刻机引领下一代芯片制造 1. 随着信息技术的飞速发展,芯片作为信息产业的核心,已经成为现代社会不可或缺的基础设施。随着芯片制造工艺的不断革新,传统的光刻技术已经无法满足对芯片制造精度和效率的要求,EUV光刻技术应运而生。 2. 传统光刻技术的瓶颈 在传统的光刻技术中,光源的波长越短,分辨率越高,但是由于光的折射、衍射和散射等现象的影响,使得制程狭窄化和精度提高变得更加困难。特别是在芯片制造中,对于线宽和间距等微观结构的精度要求越来越高,传统光刻技术已经不能满足这些要求。 3.